画像に関するトータルソリューションのご提案

画像測定器


半導体や電子部品などの生産設備に搭載し、外観・寸法検査を行う機器です。
お客様のニーズに合わせたカメラやレンズ、照明を含む画像測定器をご提案いたします。
また、量産前の評価テストにも対応可能です。

特徴・機能性

✔ 独自開発の自動スケーリング機能

治具の設置、カメラ取付位置、画像パラメータの調整を
自動で行う機能を開発しました。
手動で行っていた調整を自動化することにより、検査精度を各段に向上させます。

自動スケーリング機能
 

 ✔ 2,000を越える検査項目

検知するのが困難なミクロンサイズのキズや汚れ、打痕なども、2,000を超える検査項目から最適なプログラムを構築する事で検出が可能となります。

2000を越える検査項目

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画像測定器の導入実績

① ウエハマップスキャン

主な検査機能 パターンマッチング、座標測定
前処理・後処理フィルタ機能 2値化, 平滑化, 輪郭, 膨張圧縮, 圧縮膨張, ノイズ処理
品種データ 64品種
ログ 検査ログ, エラーログ, 稼働ログ, システムログ
その他 検証 / デバック機能
 

② 近赤外線画像測定

対象材料 Si(シリコン), GaAs(ガリウムヒ素), セラミック
特徴 シリコンウエハやチップ、MEMS、CSPなどの半導体デバイス
内部のメタル配線、ダイボンディングなどの検査が可能。
近赤外線画像検査k1.png

測定器ラインナップ

LEDテスタ LX47シリーズ

LEDテスタ
LX47シリーズ

LDテスタ LX72シリーズ

LDテスタ
LX72シリーズ

ウェーハ素子外観検査装置 NVI-211シリーズ

ウエハ素子外観検査装置
NVI-211シリーズ

エンボステープ剝離強度試験機NPT-300

エンボステープ剥離強度測定器
NPT-300

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