MEASURING INSTRUMENT
화상측정기
화상에 관한 토탈솔루션의 제안
반도체나 전자부품등의 생산설비에 탑재하여, 외관・수치검사를 실시하는 기기입니다.
고객의 요구에 맞는 카메라와 렌즈, 조명을 포함한 화상측정기를 제안합니다.
또한 양산 전에 평가 테스트에도 대응 가능합니다.
특징・기능성
✔ 자체개발한 자동 스케일링 기능
지그의 설치, 카메라 장착위치, 화상파라메타 조정을 자동으로 수행하는 기능을 개발했습니다.
수동으로 실시하던 조정을 자동화함으로써, 검사 정밀도를 각 단계별로 향상시킵니다.
✔ 2,000을 넘는 검사항목
검지하기 어려운 미크론 사이즈의 흠집이나 얼룩, 타흔 등도, 2,000개가 넘는 검사항목에서 최적의 프로그램을 구축함으로써 검출이 가능해집니다.
화상측정기의 도입실적
① 웨이퍼맵 스캔
| 주요 검사 기능 | 패턴매칭, 좌표측정 |
|---|---|
| 전처리・후처리 필터 기능 | 2치화, 평활화, 윤곽, 팽장압축, 압축팽장, 노이즈처리 |
| 품종데이터 | 64품종 |
| 로그 | 검사로그, 에러로그, 가동로그, 시스템로그 |
| 기타 | 검증 / 디버그 기능 |
② 근적외선 화상측정
| 대상재료 | Si（실리콘）, GaAs（갈륨비소）, 세라믹 |
|---|---|
| 특징 | 실리콘 웨이퍼나 칩, MEMS, CSP 등의 반도체 디바이스 내부의 메탈 배선, 다이본딩 등의 검사가 가능. |
측정기 라인업
LED 테스터 LX47시리즈
LD 테스터 LX72시리즈
웨이퍼 소자 외관검사장치
NVI-211시리즈
엔보스테이프 박리 강도 측정기 NPT-300
문의
자료청구 및 궁금하신 점은 이하 메일폼 혹은 전화로 문의해 주시기 바랍니다.
전화로 문의를 하실 때는 이쪽으로 연락 주십시오.
+81-428-31-8211