WS-12 series
이관 기능 다이소터
WS-12시리즈
크린룸 대응！12인치 다이소터
세로로 세팅한 웨이퍼링에서 동일 랭크의 디바이스만을 픽업하여, 랭크별로 분류, 링 카세트에 수납하는 장치입니다.
수요 확대가 현저한 12인치 웨이퍼에 대응하고 있습니다.
크린룸 클레스 10의 환경하에서도 사용할 수 있는 설계로 되었고, 고객 제품의 불량률 경감・품질 향상에 기여합니다.
기본사양
| 대상제품 | LED, WLCSP, BGA, IGBT |
|---|---|
| 대상제품 사이즈 | □0.2～12.0 [mm] ※위의 사이즈 이외도 대응, 사이즈 차이의 공용은 별도 상담 두께：MIN 50～800 [µm] |
| 처리능력 | 0.15초/개 ※최량조건 |
| 공급방식 | 플레트링 |
| 링 사이즈 | 플레트링：8, 12인치 ※그 외에 특수 형상의 링에도 대응 가능합니다 |
| 공급용 링수 | 12인치 웨이퍼링：13매 8인치 웨이퍼링：25매 |
| 링 카세트수 | 2개 or 4개 |
| 전원 | 단상 AC200V / 10A |
| 외형수치 | W1,400×H2,000×D1,260 [mm] |
| 옵션 | 콜레트 위치맞춤 조정용 카메라 |
※장치의 사양 및 처리 능력은 부품 사이즈나 형상, 측정 시간이나 검사 항목수 등에 따라 변동하므로 상담 후 결정하겠습니다.
※사진은 이미지입니다. 촬영이나 인쇄의 관계로, 실물의 색과 다를 수 있습니다.
특징・기능성
✔ 안정적인 점착 동작
안정적인 점착 동작을 실현하기 위한 기구를 개발했습니다.
12인치 웨이퍼씨트도 휘어짐 없이, 정밀도 높은 이관가 가능합니다.
✔ 고정밀한 픽업기술
사이즈 □10.0mm, 두께 50µm의 실리콘 칩의 픽업을 실현.
당사의 데미지 경감기술을 통해, 크랙이 발생하기 쉬운 대형 극박 디바이스의 데미지를 방지할 수 있습니다.
✔ 시리즈 라인업
수납 카세트 수에 따라, 시리즈 전개를 하고 있습니다.
WS-12S : 1카세트
WS-12T : 3카세트
희망하시는 분류수에 따라, 장치를 선택하실 수 있습니다.
WS-12시리즈의 제품사례
제품사례①
과제
현재의 장치에서는 웨이퍼링을 가로로 두는 사양이기 때문에, 링 사이즈에 따라 처리 능력이 떨어지는 것이 과제였다.
해결
당사의 다이소터에서는 12인치 웨이퍼링도 세로로 세팅이 가능하다.
링 사이즈가 바뀌어도 처리 능력을 떨어뜨리지 않고 가동할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있었다.
제품사례②
과제
제품 납품처의 엔드유저는 8인치 대응 설비밖에 없기 때문에, 12인치의 웨이퍼링으로부터 8인치 링으로 제품을 이관하고 싶다.
해결
12인치에 서 8인치로 이관할 수 있는 사양으로 함으로써, 엔드유저가 원하는 웨이퍼링 사이즈로 납품할 수 있게 되었다.
제품 동영상
다이소터 라인업
이관 기능 다이소터
NST-600시리즈
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