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이관 기능 다이소터 WS-12S

12인치 사이즈의 웨이퍼링에 대응하는 다이소터입니다. 웨이퍼링의 세로 배치를 채용하여, 처리능력의 향상을 도모하고 있습니다.

＜동영상 내 장치 사양＞
공급・수납방식 웨이퍼링 to 웨이퍼링
웨이퍼링 사이즈 12인치
분류수 13분류
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