能進行用市售品無法檢查範圍的畫像檢查。可配合各式各樣的需求來提案、包含獨家演算法及照明等。
【特點】能檢查Silicon Wafer及Chip、MEMS、CSP等半導體元件內部的金屬配線、固晶等。【目標材料】Si(矽利康) GaAs(砷化鎵) 陶瓷
能做LD元件的固有測試,以及FFP測試、NFP測試、Pulse測試等光學測試。
能做LED元件的固有測試,以及紅外域、可視域、紫外域的光學測試。
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