クリーンルーム対応!12インチダイソーター

WS-12S

縦置きにセットしたウエハリングから同一ランクのデバイスのみをピックアップし、ランク毎に分類、リングカセットに収納する装置です。
需要拡大が著しい12インチウエハに対応しています。
クリーンルーム クラス10の環境下でも使用できる設計となっており、お客様製品の不良率の軽減・品質向上に寄与いたします。

基本仕様

対象製品 LED, WLCSP, BGA, IGBT
対象製品サイズ □0.2~12.0 [mm] ※左記サイズ以外の対応、サイズ違いの共用は別途ご相談
厚み:MIN 50~800 [µm]
サイクルタイム 0.15秒/個 ※最良条件
供給方式 フラットリング
リングサイズ フラットリング:8, 12インチ
※その他特殊形状リングにも対応可能
供給用リング数 12インチウエハリング:13枚
8インチウエハリング:25枚
リングカセット数 2個 or 4個
電源 単相 AC200V / 10A
外形寸法 W1,400×H2,000×D1,260 [mm]
オプション コレット位置決め調整用カメラ

※装置の仕様及び処理能力は部品サイズや形状、測定時間や検査項目数などによって変動しますので、ご相談の上決定させていただきます。
※掲載写真はイメージです。撮影や印刷の関係で、実物の色と異なる場合がございますのでご了承下さい。

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特徴・機能性

✔ 安定した貼付け動作

安定した貼付け動作を実現するための機構を開発しました。
12インチウエハシートもたわむことなく、精度の高い移載が可能です。

安定した貼り付け動作
 

 ✔ 高精度なピックアップ技術

サイズ□10.0mm、厚み50µmのシリコンチップのピックアップを実現。
当社のダメージ軽減技術によって、クラックが発生しやすい大型極薄デバイスのダメージを防ぐことができます。

50µmピックアップ
 

✔ シリーズラインナップ

収納カセット数に応じて、シリーズ展開をしております。
WS-12S:1カセット
WS-12T:3カセット
ご希望の分類数に応じて、装置をお選びいただけます。

シリーズラインナップ

WS-12シリーズの製品事例

製品事例①

課題

現状の装置ではウエハリングが横置きの仕様であるため、リングサイズによって処理能力が落ちることが課題であった。

解決

当社のダイソーターでは12インチのウエハリングも縦置きにセッティングが可能。リングサイズが変わっても処理能力を落とさず稼働できるため、生産性を向上させることができた。

製品事例②

課題

製品納入先のエンドユーザーでは8インチ対応の設備しかないため、12インチのウエハリングから8インチに製品を移載したい。

解決

12インチから8インチへの移載ができるような仕様にすることで、エンドユーザーが要望しているウエハリングサイズで納品できるようになった。

製品動画

ダイソーター(チップ移載装置)ラインナップ

移載機能ダイソータNST- 610シリーズ

移載機能ダイソーター
NST-600シリーズ

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